Ihr zuverlässiger Lieferant für Quarzwafer in China
XET Glass liefert Quarzglasscheiben für Abnehmer, die ein sauberes und stabiles Glassubstrat für ihre Produktion oder Forschung benötigen. Wir sind ein nach ISO 9001 zertifiziertes Quarzglasverarbeitungsunternehmen mit über 17 Jahren Produktionserfahrung. Unser Team verfügt über Erfahrung mit nahezu allen gängigen Glasmaterialien.
Wir fertigen Quarzglas in verschiedenen Qualitäten. Von UV-Bearbeitung (JGS1) und optischen Prozessen (JGS2) bis hin zu Infrarot-Transmissionskapazitäten (JGS3) – auf uns können Sie zählen!
Egal, ob Sie Quarzwafer als Prototyp für ein neues Gerät oder in Serienproduktion benötigen, Sie können uns die Wafergröße, Dicke, Oberflächenanforderungen und den Anwendungsbereich mitteilen.
Arten von SXET-Quarzwafern
Vermutlich einer der begehrtesten Wafer-Typen. Der einseitig polierte Quarzwafer besitzt eine klare Arbeitsfläche, während die Rückseite weniger stark bearbeitet ist. Er kommt vor allem dann zum Einsatz, wenn Beschichtungen, Tests oder Strukturierungsarbeiten nur auf einer Seite erfolgen.
Wenn Licht durch den Wafer hindurchtreten muss oder wenn beide Seiten an der Verbindung und Inspektion beteiligt sind, ist das Polieren von zwei Seiten in der Regel besser geeignet.
Für eine klarere Oberfläche müssen beide Seiten poliert werden. Diese Quarzscheiben werden häufig für optische Bauelemente, transparente Chips und Forschungsarbeiten verwendet, die eine Durchsicht des Substrats erfordern.
Die Dickenkontrolle gewinnt bei Anwendungen, die dünnere Wafer erfordern, zunehmend an Bedeutung, insbesondere vor Beschichtung, Bohren oder Verpackung. Manche Produkte benötigen ein dünnes und leichtes Substrat für Stapelung, Verklebung oder kompakte Gerätekonstruktionen. Hier kommen dünne Quarzwafer zum Einsatz, die an die für die jeweilige Anwendung erforderliche Dicke angepasst werden können.
Normales Glas kann zu viel kurzwellige UV-Strahlung absorbieren und dadurch die optischen Eigenschaften beeinträchtigen. Hier kommen UV-Quarzscheiben zum Einsatz. Sie werden speziell für Geräte und Vorrichtungen entwickelt, die ultraviolettes Licht nutzen.
Bei ausgewählten UV-geeigneten Quarzglassorten kann die Transmission bei 185 nm 85 % übersteigen, wodurch es sich als geeignetes Material für optische UV-Substrate und lichtbasierte Forschungskomponenten eignet.
Merkmale des SXET-Quarzwafers
Wir fertigen Quarzwafer nach Kundenzeichnungen und -spezifikationen, einschließlich kundenspezifischer Durchmesser, Dicken, polierter Oberflächen, optischer Oberflächenveredelungen und präzisionsgeschnittener Geometrien für OEM- und ODM-Projekte. Die Rauheit liegt unter 2 nm, die Planheit unter 5 µm.
Quarzscheiben werden aus hochreinem Quarzglas hergestellt und zeichnen sich durch extrem niedrige Verunreinigungsgrade und eine hervorragende Materialkonsistenz aus. Dadurch eignen sie sich ideal für die Halbleiterverarbeitung, Laborgeräte, optische Systeme und industrielle Anwendungen mit hohen Reinheitsanforderungen, bei denen die Kontrolle von Verunreinigungen unerlässlich ist.
Quarzscheiben weisen einen sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf und behalten daher auch unter extremen Temperaturbedingungen ihre Dimensionsstabilität. Sie widerstehen schnellen Temperaturänderungen ohne Verformung und eignen sich somit für Hochtemperatur-Prozessumgebungen.
Quarzscheiben weisen eine ausgezeichnete Beständigkeit gegenüber den meisten Säuren und korrosiven Chemikalien auf und gewährleisten so eine langfristige Leistungsfähigkeit auch in aggressiven Prozessumgebungen. Diese Eigenschaft ist insbesondere in der Halbleiterfertigung und bei Laboranwendungen von großem Wert.
Unsere Quarzplättchen können kundenspezifisch mit engen Maßtoleranzen, Präzisionspolitur, Bohrungen, Schlitzen und speziellen Kantenbearbeitungen gefertigt werden. Dies gewährleistet die zuverlässige Integration in anspruchsvolle Industrie- und Wissenschaftsanlagen.
Quarzscheiben bieten eine hohe Durchschlagsfestigkeit und ausgezeichnete elektrische Isolationseigenschaften und eignen sich daher für Halbleiteranlagen, elektronische Geräte und Hochfrequenzanwendungen.
Kundenspezifische Quarzwafer-Bearbeitung
Manche Quarzwafer werden direkt beschichtet, andere zu Bauteilen verklebt oder in Anlagen mit fester Beladungsgröße eingesetzt. Daher sollten die fertigen Wafer stets für die jeweilige Anwendung vorbereitet sein.
Wir von SXET Glass fertigen runde Wafer, quadratische Substrate, rechteckige Stücke und Sonderformen. Wir bieten Ihnen individuelle Anpassungen und Spezialisierungen Ihrer Wafer – teilen Sie uns einfach Ihre Anforderungen oder Ihren Anwendungsbereich mit, und wir kümmern uns darum!
Umfassende Anpassungsmöglichkeiten
Als professioneller Hersteller von Quarzwafern bieten wir kundenspezifische Quarzglaswafer, die exakt Ihren Vorgaben entsprechen. Unsere Quarzwafer werden aus hochreinem Quarzglas mit einem Reinheitsgrad von bis zu 99.9999 % gefertigt und gewährleisten so hervorragende Leistung für Anwendungen in der Halbleiter-, Optik-, Labor- und Hochtemperaturtechnik.
Wir bieten Standardgrößen für Quarzwafer an, darunter 2-Zoll-, 4-Zoll- und 6-Zoll-Quarzwafer. Kundenspezifische Abmessungen sind nach Zeichnung erhältlich. Verfügbare Dicken sind 0.3 mm, 0.5 mm, 0.72 mm und 1.0 mm; weitere Dicken sind auf Anfrage möglich.
Durch präzise CNC-Bearbeitung und fortschrittliche Polierverfahren erreichen wir Maßtoleranzen von ±0.05 mm, Dickentoleranzen von ±0.1 mm und eine Oberflächenebenheit unter 5 μm. Ob Sie Sonderformen, Schlitze, Bohrungen, Kantenbearbeitungen oder vollständig kundenspezifische Geometrien benötigen – unser Ingenieurteam fertigt Quarzwafer nach Ihren technischen Zeichnungen und Projektanforderungen.
Anwendung von SXET-Quarzwafern
Quarzwafer werden aufgrund ihrer außergewöhnlichen Reinheit, thermischen Stabilität und chemischen Beständigkeit in der Halbleiterfertigung häufig eingesetzt. Sie finden gängige Verwendung in Waferbearbeitungsanlagen, Diffusionsöfen, Ätzsystemen und Beschichtungskammern, wo die Kontrolle von Verunreinigungen von entscheidender Bedeutung ist.
Quarzplättchen werden häufig in Analysegeräten, Spektroskopieanlagen und wissenschaftlichen Forschungsgeräten eingesetzt. Ihre hohe Temperaturbeständigkeit und chemische Inertheit machen sie geeignet für anspruchsvolle Laborumgebungen.
Quarzscheiben werden in Sensoren für die Luft- und Raumfahrt, optischen Detektionssystemen und fortschrittlichen Verteidigungstechnologien eingesetzt. Ihre geringe Wärmeausdehnung und ihre hervorragenden optischen Eigenschaften gewährleisten eine zuverlässige Leistung auch unter rauen Betriebsbedingungen.
Aufgrund ihrer hervorragenden UV-Durchlässigkeit und Temperaturwechselbeständigkeit werden Quarzscheiben häufig in Laseranlagen, UV-Härtungssystemen und optischen Hochenergiegeräten eingesetzt. Sie gewährleisten auch unter intensiven Betriebsbedingungen eine stabile optische Leistung.
- Quarzwafer-Spezifikation
| Material | Hochreines Quarzglas / Quarzglas |
| Purity | Bis zu 99.9999% |
| Betriebstemperatur | 1100-1200 ℃ |
| Größe | 2″, 4″, 6″, 8″ oder individuell |
| Materialstärke | 1 0.3 mm, 0.5 mm, 0.72 mm, 1.0 mm oder kundenspezifisch |
| Durchmessertoleranz | ± 0.05 mm |
| Flatness | < 5 μm |
| Reibungskoeffizient | Ra < 10 nm (Optional) |
Für die Fotomaskenbearbeitung wird üblicherweise ein klares Quarzsubstrat mit guter Planheit und polierter Oberfläche benötigt. Dadurch lässt sich die Strukturschicht gleichmäßiger aufbringen und das Belichtungslicht kann den gewünschten Bereich besser durchdringen.
Bei Arbeiten mit UV-Licht sollte die Quarzmaterialqualität auch der vom Gerät verwendeten Wellenlänge entsprechen.
Bei Glasprodukten ist die Dicke ein entscheidender Faktor. Wafer können zwar die erforderliche Dicke aufweisen, aber dennoch Oberflächenunebenheiten besitzen. Dies kann sich auf das Bonden, die Lithografie oder die Ergebnisse von Dünnschichtverfahren auswirken.
Das hängt davon ab, welche Aufgaben der Wafer nach der Auslieferung erfüllen muss. Um Ihnen jedoch einen kurzen Überblick zu geben:
- JGS1 gilt vielen als das beste Gerät für alle erforderlichen UV-Prozesse.
- JGS2 eignet sich für viele Anwendungen im sichtbaren Lichtbereich und allgemeine optische Anwendungen.
- Für Infrarotarbeiten eignet sich JGS3- oder OH-armes Quarz besser.
Quarzplättchen sind hart, aber ihre dünnen Kanten können beim Handling, Verladen oder Transport absplittern. Beschädigungen an den Kanten können auch entstehen, wenn die Plättchen in ungeeigneten Verpackungen aneinander reiben.
Bei Wafern, die später beschichtet oder verbunden werden sollen, sollte der Zustand der Ränder überprüft werden, bevor sie in den nächsten Prozess eintreten.
Nicht unbedingt. Eine Abflachung oder Kerbe ist nur dann erforderlich, wenn die Anlage eine feste Belastungsrichtung benötigt. Bitte markieren Sie die Position der Abflachung oder Kerbe deutlich in der Wafer-Skizze oder geben Sie sie in der Anforderungsbeschreibung an.
Was ist ein Quarzwafer?
Ein Quarzwafer ist ein dünnes, flaches Substrat aus Quarzglas oder Quarzglas. Er wird bei der Profenelverarbeitung verwendet.
Hierbei bezeichnet Quarzwafer ein Substrat aus Siliziumdioxidglas. Es unterscheidet sich von Kristallquarzwafern, die in Frequenzkomponenten verwendet werden, wo die Schnittrichtung des Kristalls von Bedeutung ist.
Eine Quarzscheibe mag einfach aussehen, doch ihre Oberfläche ist entscheidend für das Endprodukt. Wird sie beschichtet, passt sich die Beschichtung der darunterliegenden Oberfläche an. Wird sie mit einer weiteren Schicht verbunden, müssen die beiden Oberflächen exakt aufeinandertreffen. Deshalb sind Polieren, Dicke und Form vor dem nächsten Arbeitsschritt so wichtig.
Warum Quarz als Trägermaterial verwendet wird
Quarzscheiben werden gewählt, weil sie transparent sind und während vieler Produktionsschritte stabil bleiben. Für UV-Anwendungen lässt Quarzglas zudem kurzwelliges Licht besser durch als herkömmliches Glas.
Dies ist nützlich für Fotomasken, optische Beschichtungen und mikrofluidische Chips. Die endgültige Anwendung entscheidet jedoch darüber, ob der Wafer eine polierte Seite, zwei polierte Seiten, UV-beständiges Material oder eine spezielle Kontur benötigt.
Was geschieht nach der Lieferung des Wafers?
Was viele übersehen, ist, dass der Zweck der Waffeln nicht mit dem Versand und der Lieferung an den Kunden endet.
Wafer werden für eine Reihe von Anwendungen eingesetzt, aber hier sind einige der häufigsten Anwendungen, für die Unternehmen diese Komponenten verwenden.
Beschichtung
Die Dünnschichtbearbeitung beginnt mit der Waferoberfläche. Weist die Arbeitsfläche Spuren oder ungleichmäßige Politur auf, kann die Beschichtungsschicht möglicherweise nicht das gewünschte Ergebnis erzielen.
Bei einseitiger Beschichtung kann einseitiges Polieren ausreichend sein. Transparente beschichtete Teile erfordern je nach Lichtdurchlässigkeit des Endprodukts möglicherweise ein beidseitiges Polieren.
Bindung
Manche Quarzscheiben dienen als Abdeckungen oder Basisschichten für kleine Bauteile. In mikrofluidischen Produkten kann eine transparente Scheibe über Kanälen aufgebracht werden, sodass der Flüssigkeitsweg sichtbar bleibt.
Für die Verbindung müssen Ebenheit und Dickengleichmäßigkeit geprüft werden. Ein unebener Wafer kann den Verbindungsprozess erschweren, selbst wenn seine äußeren Abmessungen stimmen.
Musterung
Fotomasken und strukturierte Substrate benötigen eine saubere, vorbereitete Oberfläche. Der Quarzwafer trägt das Design, das später bei der Belichtung oder Prüfung verwendet wird.
Oberflächenpolitur und Ebenheit sind hier wichtig, da sie Einfluss darauf haben, wie das Muster entsteht und verwendet wird.
Zuschneiden
Wir wissen, dass nicht jede Quarzscheibe eine vollständig runde Scheibe ist. Manche Konstruktionen benötigen ein quadratisches Substrat, Flüssigkeitseinlassöffnungen, eine ebene Kante oder eine Aussparung für die Montage.
Diese Details sollten in der Skizze enthalten sein, die Sie dem Hersteller vor Produktionsbeginn übermitteln. Ein nachträgliches Hinzufügen kann die polierte Oberfläche beschädigen oder Passprobleme verursachen.
Kundenspezifische Quarzwafer von SXET Glass
SXET Glass fertigt Quarzglasscheiben nach Ihren Vorgaben hinsichtlich Material, Form, Dicke, Polierung und Weiterverarbeitung. Wir unterstützen die Prototypenentwicklung und die kundenspezifische Fertigung für optische, Labor- und Industrieprojekte.
Senden Sie uns Ihre Skizze, Ihr Design, Ihr Muster, die Wellenlänge und die Verarbeitungsbedingungen. Wir prüfen die Details und helfen Ihnen bei der Herstellung eines Quarzplättchens, das zu Ihrem Produkt und Ihren Anlagen passt.