Professioneller Hersteller von Quarzwaferbooten in China
SXET stellt Präzisions-Quarzwaferboote aus hochreinem Quarzglas für die Halbleiterwaferverarbeitung, die Photovoltaikfertigung, Hochtemperatur-Ofensysteme und Forschungsanwendungen her.
Mit mehr als 17 Jahren Erfahrung in der Herstellung von Quarzprodukten kombiniert SXET Präzisionsbearbeitung, Schweißen, Flammpolieren, Glühen, Reinigen und Dimensionsprüfung, um kundenspezifische Wafer-Boote mit zuverlässiger struktureller und dimensionaler Konsistenz herzustellen.
Die meisten wichtigen Fertigungsprozesse werden im eigenen Haus durchgeführt, wodurch unsere Entwicklungs- und Produktionsteams eine bessere Kontrolle über die Geometrie der Schlitze, die Strukturabmessungen, die Oberflächenbeschaffenheit und die Fertigungskonsistenz haben. Wir verarbeiten sowohl runde als auch quadratische Wafer und fertigen Quarzwafer-Boote nach Kundenzeichnungen, Mustern und Anlagenvorgaben.
Arten von SXET-Quarzwaferbooten
Konzipiert für horizontale Rohrofensysteme und Beladung entlang der Ofenachse. Präzisionsschlitze gewährleisten eine stabile Waferpositionierung und einen gleichmäßigen Abstand während der thermischen Bearbeitung.
Konzipiert für vertikale Ofensysteme, in denen Wafer vertikal in die Prozesskammer geladen werden. Die Struktur kann an unterschiedliche Waferkapazitäten und Ofenkonfigurationen angepasst werden.
Konzipiert für größere Wafergrößen und hohe Durchsatzraten. Schlitzabmessungen, Abstände und Stützstrukturen können je nach Waferdurchmesser und Anlagenanforderungen optimiert werden.
Entwickelt zur Aufnahme quadratischer Wafer oder Substrate für Photovoltaik- und Spezialanwendungen. Schlitzgeometrie und Auflagepunkte lassen sich an die Substratabmessungen anpassen.
Konzipiert für Oxidations-, Diffusions-, Glüh- und andere Ofenprozesse, die zuverlässige Leistung bei erhöhten Temperaturen erfordern. Hochreiner Quarzglas sorgt für geringe Wärmeausdehnung und ausgezeichnete thermische Stabilität.
Die Fertigung erfolgt nach Kundenzeichnungen für Sonderwafer, Ofensysteme oder Prozessanforderungen. Wafergröße, Kapazität, Anzahl der Schlitze, Abstand, Abmessungen und Konstruktion sind kundenspezifisch anpassbar.
Merkmale von SXET Quarz-Waferbooten
Hergestellt aus hochreinem Quarzglas mit einem SiO₂-Reinheitsgrad von bis zu 99.9999 %. Die hohe Materialreinheit trägt dazu bei, den Eintrag unerwünschter Verunreinigungen in kontaminationssensiblen Wafer-Verarbeitungsumgebungen zu minimieren.
SXET-Quarzwaferboote sind für Betriebstemperaturen bis zu 1200 °C ausgelegt, abhängig von der Produktstruktur und den Prozessbedingungen. Quarzglas behält seine ausgezeichnete Dimensionsstabilität auch bei anspruchsvollen thermischen Prozessen.
Quarzglas bietet eine ausgezeichnete Beständigkeit gegenüber vielen Säuren und Prozesschemikalien, wodurch Quarzglas-Wafer-Schiffchen für anspruchsvolle Umgebungen in der Halbleiter-, Photovoltaik- und Laborindustrie geeignet sind. Die chemische Kompatibilität sollte hinsichtlich der jeweiligen Chemikalie, Konzentration und Temperatur geprüft werden.
Mit einem Wärmeausdehnungskoeffizienten von etwa 0.54 × 10⁻⁶/°C erfährt Quarzglas beim Erhitzen und Abkühlen nur sehr geringe Dimensionsänderungen. Dies trägt dazu bei, die Positionierung und strukturelle Stabilität der Wafer auch bei wiederholten Temperaturzyklen zu gewährleisten.
Präzisionsnutdesign und Maßkontrolle
Die Geometrie der Nuten beeinflusst direkt den Waferabstand, die Positionierung, die Belastungsstabilität und die Kompatibilität mit Ofenanlagen. SXET betrachtet die Nutbearbeitung daher als kritisches Qualitätsmerkmal und nicht als allgemeines Maßmerkmal.
Mithilfe präziser CNC-Bearbeitung, Schleifverfahren und kontrollierter Nachbearbeitung können wir ausgewählte Nutenmerkmale mit Toleranzen bis zu ±0.03 mm fertigen, abhängig von Design und Geometrie des Wafer-Boots. Nutbreite, -tiefe, -teilung, -anzahl und -ausrichtung lassen sich für 4-Zoll-, 6-Zoll-, 8-Zoll- und andere Wafergrößen individuell anpassen.
Die kritischen Schlitzabmessungen werden vor dem Versand anhand der genehmigten Zeichnung geprüft. Dieses Verfahren trägt dazu bei, ungleichmäßige Waferabstände, unerwünschte Bewegungen und Probleme mit der Gerätepassung zu reduzieren und gibt Kunden mehr Sicherheit beim Einbau eines Ersatz- oder kundenspezifischen Wafer-Boots in ein bestehendes Produktionssystem.
Hochreine Materialien und Kontaminationskontrolle
Für die Halbleiterwaferbearbeitung reicht Materialreinheit allein nicht aus. Verunreinigungen können auch während der Bearbeitung, Nachbearbeitung, Handhabung, Reinigung, Inspektion und Verpackung entstehen. SXET kombiniert daher hochreines Quarzglas mit kontrollierten Fertigungs- und Reinigungsverfahren während des gesamten Produktionsprozesses.
Für kontaminationssensible Anwendungen sind Quarzwerkstoffe mit einer SiO₂-Reinheit von bis zu 99.9999 % erhältlich. Nach der Bearbeitung und Endbearbeitung werden die Bauteile gereinigt, um Prozesspartikel und Rückstände zu entfernen. Anschließend werden die fertigen Wafer-Boote vor der Schutzverpackung geprüft.
Diese Kombination aus Materialauswahl, Prozesskontrolle, Reinigung und Endkontrolle trägt dazu bei, potenzielle Kontaminationsquellen zu minimieren und den Kunden ein gleichmäßigeres Quarzbauteil für anspruchsvolle Waferfertigungsumgebungen zu liefern.
Warum sollten Sie SXET als Ihren Hersteller von Quarzwaferbooten wählen?
Mehr als 17 Jahre Erfahrung in der Quarzherstellung
Unsere Erfahrung in der kundenspezifischen Quarzbearbeitung unterstützt die zeichnungsbasierte Produktion, die Prozessevaluierung und die Herstellung von Präzisionskomponenten für die Waferhandhabung.
Präzisionsschlitzbearbeitung
Ausgewählte Schlitzmerkmale können mit Toleranzen bis zu ±0.02 mm gesteuert werden, wodurch ein gleichbleibender Waferabstand und eine gleichbleibende Gerätekompatibilität gewährleistet werden können.
Hochreine Quarzmaterialien
Für kontaminationsempfindliche Halbleiter- und Photovoltaikanwendungen ist SiO₂ mit einer Reinheit von bis zu 99.9999 % erhältlich.
Interne Verarbeitungskapazität
Präzisionsbearbeitung, Quarzschweißen, Flammpolieren, Glühen, Reinigen und Prüfen sind in unseren Fertigungsablauf integriert, um eine bessere Prozesskontrolle zu gewährleisten.
Kundenspezifische Fertigung nach Zeichnungen
Wir unterstützen horizontale, vertikale, großflächige, quadratische, Hochtemperatur- und vollständig kundenspezifische Quarzwafer-Boot-Konfigurationen.
Anwendungen von SXET-Quarzwaferbooten
Quarz-Waferboote dienen der Unterstützung und Positionierung von Wafern während Hochtemperatur-Halbleiterprozessen wie Oxidation, Diffusion, Temperung und ausgewählten thermischen Schritten im Zusammenhang mit der Abscheidung.
Quarzschiffchen werden verwendet, um Siliziumwafer oder -substrate während ausgewählter Photovoltaik-Herstellungsprozesse zu halten, einschließlich Wärmebehandlung, Dotierung und Oxidation.
Horizontale und vertikale Quarzwafer-Boote können so konstruiert werden, dass sie zu verschiedenen Röhrenofenkonfigurationen, Waferkapazitäten und Beladungsmethoden passen.
Forschungsinstitute und Labore verwenden Quarzwaferboote für die Halbleiterentwicklung, die Materialforschung, thermische Experimente und andere Anwendungen der Substratverarbeitung bei hohen Temperaturen.
- Spezifikationen für Quarz-Wafer-Boote
| Normen | Zubehörmöglichkeiten |
| Produkt | Quarz-Waferboot |
| Material | Hochreiner Quarzglas / Quarzglas |
| SiO₂-Reinheit | 99.99% -99.9999% |
| Wafer-Typ | Runde / Quadratische Waffeln |
| Wafergröße | Kundenspezifische |
| Slot-Menge | Kundenspezifische |
| Schlitzabstand | Kundenspezifische |
| Slot-Toleranz | Bis zu ±0.02 mm |
| Betriebstemperatur | Bis zu 1200 ° C. |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | Ca. 0.54 × 10⁻⁶/°C |
| Herstellungsprozess | Präzisionsbearbeitung, Schweißen, Flammpolieren, Glühen, Reinigen & Prüfen |
| Anpassung | Verfügbar gemäß Zeichnung |
Ein Quarz-Waferboot ist ein Präzisionsträger aus Quarzglas, der mehrere Wafer oder Substrate während thermischer und chemischer Prozesse hält, trennt und positioniert. Seine Mehrschlitzstruktur gewährleistet einen kontrollierten Waferabstand, während das Boot in Halbleiter- oder Photovoltaik-Anlagen eingesetzt wird.
Quarz wird aufgrund seiner hohen Reinheit, geringen Wärmeausdehnung, chemischen Stabilität und Fähigkeit, anspruchsvollen Hochtemperaturumgebungen standzuhalten, häufig für Wafer-Schiffe verwendet.
Berücksichtigen Sie Wafergröße und -form, Waferkapazität, Ofentyp, Beladungsrichtung, Schlitzabmessungen, Betriebstemperatur, Prozesschemie und Geräteschnittstelle. Die Bereitstellung einer Zeichnung oder eines vorhandenen Musters ermöglicht unserem Ingenieurteam die Ermittlung der optimalen Konfiguration.
Die Qualitätskontrolle umfasst die Materialauswahl, die Bearbeitung, die Nutprüfung, das Schweißen oder die Montage (falls erforderlich), die Reinigung, die abschließende Maßprüfung und die Verpackung. Kritische Merkmale werden vor dem Versand anhand der genehmigten Zeichnung oder Spezifikation geprüft.
Je nach Lage und Schweregrad können einzelne Defekte auf Reparatur oder Wiederaufbereitung geprüft werden. Wafer mit Rissen, größeren strukturellen Schäden oder Verformungen sollten in der Regel ausgetauscht werden, da diese Defekte die sichere und stabile Waferhandhabung beeinträchtigen können.
Bitte geben Sie Wafergröße und -form, Waferkapazität, Anzahl und Abstand der Schlitze, Ofentyp, Beladungsmethode, Betriebstemperatur, Prozessbedingungen, benötigte Menge und, falls vorhanden, eine technische Zeichnung an.
Wie lange ist die Lieferzeit für maßgefertigte Quarzwafer-Boote?
Die Lieferzeit hängt von den Abmessungen, der Struktur, der Steckplatzkonfiguration, der Menge, der Materialverfügbarkeit und der Fertigungskomplexität ab. Standardprojekte oder relativ einfache Projekte können in etwa 7–10 Werktagen abgeschlossen werden, während komplexe Sonderanfertigungen mehr Zeit in Anspruch nehmen können.
Können Sie Boote sowohl für runde als auch für quadratische Wafer herstellen?
Ja. SXET kann Quarzwafer-Boote für runde und quadratische Wafer herstellen. Schlitzgeometrie und Stützstrukturen können an die Wafer- oder Substratabmessungen angepasst werden.
Wie sollten Quarzglas-Boote gereinigt und gepflegt werden?
Verwenden Sie ein Reinigungsverfahren, das mit hochreinem Quarz und Ihrem spezifischen Halbleiter- oder Photovoltaikprozess kompatibel ist. Entfernen Sie Partikel und Rückstände sorgfältig, spülen und trocknen Sie das Boot gründlich und prüfen Sie es vor der Wiederverwendung auf Risse, Absplitterungen, Beschädigungen an Schlitzen oder Oberflächenfehler.
Welche Wafergrößen können SXET-Quarzwaferboote unterstützen?
SXET fertigt kundenspezifische Quarzwafer-Boote für verschiedene Wafergrößen. Da die ursprüngliche Produktspezifikation keinen festen Größenbereich vorgibt, müssen Wafergröße, Schlitzabmessungen, Kapazität und Tragkonstruktion gemäß Kundenzeichnung und Ofenkonfiguration festgelegt werden.
Können Anzahl und Abstand der Schlitze individuell angepasst werden?
Ja. Anzahl und Abstand der Schlitze sind individuell anpassbar. Ausgewählte Schlitzmerkmale können je nach Bootsdesign und -geometrie mit Toleranzen bis zu ±0.02 mm gefertigt werden. Anhand einer detaillierten Zeichnung kann unser Ingenieurteam die benötigte Schlitzkonfiguration vor Produktionsbeginn festlegen.
Welche Informationen sind beim Austausch eines vorhandenen Quarz-Wafer-Boots wichtig?
Bei Austauschprojekten stellen Sie bitte nach Möglichkeit die vorhandene Zeichnung oder ein Muster zusammen mit Angaben zu Wafergröße und -form, Anzahl und Abstand der Schlitze, Gesamtabmessungen, Ofentyp, Beladungsrichtung, Betriebstemperatur und Prozessbedingungen bereit. Diese Details helfen, die Gerätekompatibilität und kritische Abmessungen vor der Fertigung zu bewerten.
Wie werden Quarzwaferboote hergestellt?
- Materialauswahl
Hochreiner Quarzglas wird nach Reinheits-, Verarbeitungs- und Strukturvorgaben ausgewählt.
- Präzisionsbearbeitung
Quarzbauteile werden auf die erforderlichen Abmessungen und die gewünschte Strukturgeometrie zugeschnitten und bearbeitet.
- Nutenbearbeitung
Schlitzbreite, -tiefe, -teilung, -anzahl und -ausrichtung werden entsprechend der Wafergröße und den Kundenzeichnungen gefertigt.
- Schweißen und Montage
Wo erforderlich, werden Quarzkomponenten mittels kontrollierter Quarzschweißverfahren zur endgültigen Bootsstruktur verbunden.
- Flammpolieren und Glühen
Ausgewählte Oberflächen und Kanten können flammpoliert werden, und durch Glühen können Restspannungen aus der Fertigung abgebaut werden.
- Reinigung & Inspektion
Die fertigen Boote werden vor dem Verpacken gereinigt und auf kritische Abmessungen, Schlitzgeometrie, Oberflächenbeschaffenheit und strukturelle Qualität geprüft.
Starten Sie Ihr individuelles Quarzwafer-Boot-Projekt
Senden Sie SXET Ihre Zeichnung, die Wafergröße, die Slot-Spezifikationen, den Ofentyp, die Betriebsbedingungen und die benötigte Menge. Unser Ingenieurteam analysiert Ihre Anforderungen und erstellt Ihnen eine individuelle Fertigungslösung sowie ein Angebot.