SXET Glass – Ihr zuverlässiger Lieferant für Quarzboote
SXET Glass ist spezialisiert auf die Herstellung hochreiner Quarzglasschiffchen, die wir präzise an die strengen Anforderungen der Halbleiterfertigung anpassen können. Unsere Quarzschiffchen werden aus hochreinem, hochwertigem Quarzglas gefertigt und garantieren die außergewöhnlichen Eigenschaften, die in modernen Fertigungsprozessen erforderlich sind.
SXETGlass verfügt über eine herausragende Technologie und ein fortschrittliches Produktionssystem und fertigt Quarzschiffchen in einer absolut reinen Umgebung. Unser modernes CNC-Bearbeitungszentrum mit ausgereiften Präzisionsschleifverfahren und hochpräziser Mikrobearbeitungstechnologie ermöglicht es uns, Quarzschiffchen nach Ihren individuellen Anforderungen zu fertigen, beispielsweise für die Halbleiter- und Glasfaserfertigung. Darüber hinaus erfolgt der gesamte Nachbearbeitungsprozess nach dem Brennen in einer Reinraumumgebung, um jegliche Kontamination des Quarzes auszuschließen und Ihnen somit einwandfreie Quarzschiffchen zu liefern.
Bei Fragen zum Quarzboot kontaktieren Sie uns bitte. Wir helfen Ihnen gerne weiter!
Arten von SXET-Quarzbooten
Durch die Fixierung der Waferpositionen mittels Schlitzen wird ein gleichmäßiger Abstand gewährleistet, wodurch in Hochtemperaturprozessen eine gleichmäßige Gasströmung und Temperaturverteilung erreicht wird.
Ohne feste Nuten kann es zum Transport von Materialien verwendet werden, die keine präzise Positionierung erfordern, und eignet sich für Wärmebehandlungs-, Beschichtungs- und Laboranwendungen.
Es dient dazu, Halbleiterwafer zu stützen, zu fixieren und zu transportieren, damit diese vertikal bearbeitet werden können, was die Raumausnutzung verbessert.
Die Wafer und die horizontale Ofenanlage werden horizontal beladen, was eine einfache Bedienung und eine stabile Beladung ermöglicht.
Merkmale des SXET Quartz Boot
Es besitzt eine ausgezeichnete Hochtemperaturbeständigkeit und kann über einen langen Zeitraum in einer 1200℃-Umgebung ohne Verformung oder Beschädigung eingesetzt werden.
Wir können das Verschmutzungsrisiko während der Verarbeitung wirksam reduzieren und die Ausbeute und Qualität der Produktherstellung gewährleisten.
Es weist eine gute Beständigkeit gegenüber Temperaturschocks auf und behält seine Dimensionsstabilität auch bei schnellen Temperaturanstiegen und -abfällen.
Durch eine präzise Positionierung und gleichmäßige Anordnung der Wafer lässt sich eine konsistente Gasströmung und Temperaturverteilung gewährleisten.
Gute Säure- und Korrosionsbeständigkeit, stabil einsetzbar in komplexen chemischen Umgebungen.
Durch die Verwendung hochreiner Materialien und ein professionelles Schlitzdesign bietet es eine längere Lebensdauer und reduziert die Austauschhäufigkeit.
Präzisions-Fertigungsprozess
Die Quarzschiffchen von SXET Glass werden mit Präzisionsbearbeitung und einem strengen Wärmebehandlungsverfahren hergestellt. Jeder Produktionsschritt unterliegt strengen Toleranzkontrollen. Die präzise Steuerung des gesamten Prozesses, vom Schneiden bis zum Glühen, garantiert Maßgenauigkeit und strukturelle Stabilität. Wir fertigen für Sie Quarzschiffchen höchster Qualität, die eine stabile Waferpositionierung ermöglichen und Ihnen helfen, eine zuverlässige und stabile Leistung der Quarzschiffchen in Hochtemperaturprozessen zu erzielen.
Umfassende Anpassungsmöglichkeiten
SXET Glass bietet einen umfassenden, kundenspezifischen Service, der auf Ihren Ofentyp, Ihre Wafergröße und Ihre Prozessanforderungen abgestimmt ist. Von der Schlitzkonstruktion bis zur Gesamtgröße – wir passen unsere Lösungen präzise an Ihre Anlagen an. Erzielen Sie mit unseren exklusiven, individuell auf Sie zugeschnittenen Lösungen eine bessere Anlagenkompatibilität, höhere Beladungseffizienz und mehr Stabilität in Ihrer Produktionslinie.
Anwendung von SXET-Quarzboot
Unsere Quarzschiffchen eignen sich zum Transport von Siliziumwafern im Chipherstellungsprozess. Das SXRT-Glasquarzschiffchen ist hochtemperaturbeständig, verhindert Verunreinigungen und Verformungen und gewährleistet so die Chipqualität.
Im Produktionsprozess von Photovoltaikzellen können Quarzschiffchen zur Bearbeitung von Siliziumwafern eingesetzt werden. SXET-Glasquarzschiffchen sind beständig gegen hohe Temperaturen und korrosive Lösungen und verbessern so den photoelektrischen Wirkungsgrad und die Lebensdauer von Solarzellen.
Im Wafer-Oxidationsprozess ermöglichen Quarzschiffchen durch gleichbleibenden Waferabstand eine präzise Temperaturkontrolle und einen gleichmäßigen Gaskontakt. Dadurch entsteht eine Oxidschicht mit gleichmäßiger Dicke und stabiler Qualität. Das Verfahren ist daher ein wichtiger Bestandteil der Herstellung hochwertiger Wafer.
Unsere Quarzschiffchen finden breite Anwendung in Laboren und Forschungs- und Entwicklungseinrichtungen. Das Quarzschiffchen von SXET Glass zeichnet sich durch gute Hochtemperaturbeständigkeit und vielseitige Einsatzmöglichkeiten aus und eignet sich für unterschiedlichste Versuchsbedingungen.
- Quarzboot-Spezifikation
| Material | Quarz, SiO2 |
| Purity | 99.9999% |
| Betriebstemperatur | 1100-1200 ℃ |
| Größe | Unterstützung für die Anpassung |
| Schmelzpunkt | 1660-1710 ℃ |
| Signaldichte | 2.2g / cm3 |
| Siedepunkt | 4046 ℃ |
| Reinheitsgrad | Halbleiterqualität / Solarqualität |
Quarzschiffchen dienen primär dem Transport und der Anordnung von Wafern in Hochtemperaturprozessen wie Diffusion, Oxidation und chemischer Gasphasenabscheidung (CVD). Sie gewährleisten einen gleichmäßigen Abstand zwischen den Wafern und eine stabile Positionierung, wodurch die Gasströmung und Temperaturverteilung im Ofen gleichmäßiger werden. Dies verbessert die Prozessstabilität und die Produktleistung. Quarzschiffchen finden breite Anwendung in Diffusionsöfen und Waferbearbeitungsanlagen und sind ein wichtiges Werkzeug für Anwendungen mit hohen Anforderungen an Reinheit und thermische Stabilität.
Die Lebensdauer eines Quarzschiffchens hängt von der Prozesstemperatur, der Nutzungshäufigkeit und der Einsatzumgebung ab. In der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie können Quarzschiffchen mehrere Monate bis über ein Jahr verwendet werden. Hohe Temperaturen, häufige Temperaturwechsel oder chemische Korrosion verkürzen jedoch die Lebensdauer. Es wird empfohlen, hochreines Quarzmaterial zu verwenden, die Bedienung im täglichen Gebrauch zu standardisieren und das Schiffchen nach Gebrauch zu reinigen. Dadurch lässt sich die Nutzungsdauer des Quarzschiffchens effektiv verlängern und die Austauschhäufigkeit reduzieren.
Die Hauptunterschiede zwischen Quarz- und Siliziumkarbid-Schiffchen liegen in den Materialeigenschaften, den anwendbaren Prozessen und den Kosten. Quarz-Schiffchen zeichnen sich durch hohe Reinheit, gute Hochtemperaturbeständigkeit und niedrige Kosten aus und eignen sich für die meisten Diffusions-, Oxidations- und CVD-Verfahren. Siliziumkarbid-Schiffchen bieten eine höhere mechanische Festigkeit und Beständigkeit gegenüber extrem hohen Temperaturen und arbeiten auch bei hohen Temperaturen, hohen Belastungen oder in anspruchsvolleren Umgebungen stabiler. Allerdings sind sie teurer und schwieriger zu verarbeiten. Für konventionelle Prozesse sind Quarz-Schiffchen vorzuziehen. Bei höheren Anforderungen an Festigkeit und Temperaturbeständigkeit empfiehlt sich die Wahl eines Siliziumkarbid-Schiffchens.
Die Standards für den Schlitzabstand von Quarzschiffchen, die keinen festen Abstand aufweisen, werden üblicherweise anhand der Wafergröße, des Prozesstyps und des Ofenrohrdurchmessers festgelegt. Der gängige Standard liegt bei 3–6 mm. Wir können das Design an Ihre spezifischen Anlagenparameter anpassen. Quarzschiffchen mit kleinerem Schlitzabstand können die Einzelbeladungskapazität erhöhen, jedoch die Luftstromverteilung beeinträchtigen. Ein größerer Schlitzabstand trägt zur Verbesserung der Gleichmäßigkeit des Produktionsprozesses bei.
Die Verformung von Quarzbooten wird üblicherweise durch längere Hochtemperaturbeanspruchung, ungleichmäßige Erwärmung oder die Erweichung des Quarzmaterials verursacht. Auch eine ungleichmäßige Beladung der Wafer, unausgeglichene Spannungen sowie unzureichende Materialreinheit oder ein ungenügender Glühprozess können das Risiko einer Verformung erhöhen. Es wird empfohlen, hochreinen Quarz zu verwenden, die Konstruktion zu optimieren und die Temperaturanstiegs- und -abfallrate zu kontrollieren, um eine gleichmäßige Belastung zu gewährleisten und so das Auftreten von Verformungen effektiv zu reduzieren.
Was ist ein Quarzboot?
Das Quarzschiffchen ist ein Hochtemperaturträger, der in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie hauptsächlich zum Transport von Wafern eingesetzt wird. Es handelt sich in der Regel um einen kleinen Behälter aus hochreinem Quarzglas, der in Hochtemperaturumgebungen eine gute Stabilität aufweist und so das Kontaminationsrisiko des Produkts während des Produktionsprozesses effektiv reduziert.
In der Praxis werden Quarzschiffchen üblicherweise in Diffusionsöfen oder CVD-Anlagen platziert. Durch die präzise Anordnung der Wafer und die Einhaltung eines gleichmäßigen Abstands wird eine homogene Temperaturverteilung im Ofen erreicht, wodurch stabile Prozessergebnisse erzielt werden.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Quarzschiffchen bei Hochtemperatur-Waferbearbeitung weit mehr als nur ein tragendes Bauteil sind. Ihre einzigartigen Eigenschaften machen sie ideal für Anwendungen, die hohe Temperaturstabilität, Temperaturwechselbeständigkeit und chemische Korrosionsbeständigkeit erfordern.
Wie funktioniert ein Quarzboot?
Das Quarzschiffchen selbst besitzt keine komplexen elektrischen oder mechanischen Funktionsprinzipien. Seine Hauptfunktion besteht darin, durch Fixierung und Aufrechterhaltung eines gleichmäßigen Abstands zwischen den Wafern in einem Hochtemperaturprozess einen gleichmäßigen Wärme- und Gasfluss um jeden einzelnen Wafer zu gewährleisten. Das Quarzschiffchen ist ein Werkzeug, das in Prozessen wie Diffusion, Oxidation und chemischer Gasphasenabscheidung eine wichtige Rolle spielen wird.
Darüber hinaus bestimmt die Schlitzkonstruktion des Quarzschiffchens die Anordnung der Wafer im Ofen. Ein angemessener Abstand gewährleistet eine gleichmäßige Erwärmung der Wafer, was sich direkt auf die Schichtdicke des Waferfilms, die Parameterhomogenität und die Gesamtausbeute auswirkt. Selbst geringfügige Abweichungen im Abstand können zu Defekten führen.
Daher kann eine hochwertige Quarzbootkonstruktion Schwankungen reduzieren, die Produktkonsistenz verbessern und eine stabile Produktionsleistung über einen langen Zeitraum gewährleisten.
Wie wählt man ein Quarzboot, das für die eigene Ausrüstung geeignet ist?
Als Käufer denken Sie vielleicht, der Kauf eines Quarzschiffchens sei einfach. Die Wahl des richtigen Quarzschiffchens hängt jedoch nicht nur von der passenden Größe ab; sie beeinflusst direkt die Prozessstabilität, die Waferausbeute und die Kompatibilität mit den Anlagen. Daher sollten Sie vor dem Kauf Folgendes beachten.
Ofentyp der passenden Ausrüstung
Die Quarzschiffchenkonstruktion muss auf den Ofentyp abgestimmt sein, um eine stabile Beladung und präzise Positionierung während des Prozesses zu gewährleisten. Daher müssen Sie prüfen, ob Ihre Anlage vertikal oder horizontal ausgerichtet ist.
Wafergröße und Beladungsmenge bestätigen
Die Wafergrößen betragen üblicherweise 6 Zoll, 8 Zoll und 12 Zoll. Diese bestimmen die Gesamtgröße, die Anzahl der Schlitze und die Anordnung der Schlitze im Quarzschiffchen und damit die Optimierung des Einzelbearbeitungsvolumens.
Prozessumgebung
Hochreines Quarzmaterial ist umweltfreundlich und setzt während des Gebrauchs keine Schadstoffe frei. Darüber hinaus sollten Sie die Auswirkungen der Betriebstemperatur, der Häufigkeit von Temperaturwechseln und der chemischen Umgebung auf das Quarzschiffchen berücksichtigen.
Anpassungsmöglichkeiten
Für die Bearbeitung von Quarzbooten benötigen die meisten Fabriken kundenspezifische Fertigungsmöglichkeiten. Standardvorgaben können nicht exakt den Anforderungen jeder Produktionslinie gerecht werden. Sie können uns Zeichnungen zur Verfügung stellen, wodurch wir die Kompatibilität des gefertigten Quarzbootes mit Ihren Anlagen und eine stabile, langfristige Nutzung gewährleisten.